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浅谈干式真空机组的形式
发布时间：
2021-12-02
事实上，更早的一些干式真空机组的设计理念是叠加罗茨泵。这种多级设计使气体通道相当复杂，每个阶段需要更多氮的氮具有稀释和隔离作用。同时，为了达到良好的真空度，对各级的间隔有非常严格的要求。当然，由于内部压缩比的增加，该设计的功耗相对较低。
干式真空机组主要有以下形式，下面我们来分析一下。
1. 双元叶式干式真空机组
双元叶式设计与目前更流行、更广泛使用的罗茨泵非常相似。事实上，更早的一些干式真空机组的设计理念是叠加罗茨泵。这种多级设计使气体通道相当复杂，每个阶段需要更多氮的氮具有稀释和隔离作用。同时，为了达到良好的真空度，对各级的间隔有非常严格的要求。当然，由于内部压缩比的增加，该设计的功耗相对较低。
2. 三叶原叶干式真空机组
“三叶原叶设计”和“双叶设计”的原理是一样的。但是，不是在圆上转一圈，把气体分成两个，而是分成三个部分。这两种设计有相同的优点和缺点。为了进一步降低功耗，有些干式真空机组制造商在电动部分使用两个直流电动机，但这减少了扭矩，降低了重新启动的能力。与双层圆形裂纹设计一样，三叶圆形裂纹设计的每一层都需要更多的氮，以起到稀释和隔离的作用。
3. 组合干式真空机组
组合设计使用Rotz提高低压力下的进气效率，使用爪子提高高压力下的进气效率。它的基本原理和机身通道与前面介绍的圆形裂缝式设计完全相同。另外，一些干式真空机组制造商将最后一个等级更改为组合设计，使气体转一圈，可以分为5个。就像三元裂缝式设计可以把它分为三个部分一样。同样，在许多工程中，组合式设计的各个层面都需要更多的氮，以起到稀释和隔离的作用。
4. 外部压缩螺钉
外部压缩螺钉设计使用一对等距螺钉。这使得干式真空机组内部压缩降至最低，气体通道最短，简单。这样，气体在泵中停留的时间也最短。这种设计由于内部压缩比的减少，耗电量相对较高，但在复杂的半导体工艺中稳定性非常高。这种单阶段设计对氮用量的要求也变得非常小和简单，在多个工艺中具有很好的互换性。在很多清洁工艺中，不用氮。
5. 内部压缩螺钉
除了使用一对非等距离螺钉外，内部压缩型螺钉设计和外部压缩型螺钉设计的基本原理非常相似。由于螺钉之间的容积减少，内部被压缩。由于内部压缩，该设计将功耗降低到了与多级泵相似的水平。但是，在许多工序中，这种内部压缩与多级泵一样，由于干式真空机组体内气体的物理化学变化，容易发生固化或液化。
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